Tại sao chúng ta sử dụng vàng trong các bộ gia nhiệt dùng để vận chuyển wafer?
Khi di chuyển wafer trong môi trường phòng sạch, nhiệt độ là yếu tố quan trọng nhất. Nếu nhiệt độ quá thấp hoặc thay đổi quá đột ngột, có nguy cơ xảy ra tình trạng nhiễm bẩn hoặc tổn thương do nhiệt độ cao. Đó không phải là khởi đầu tốt cho một ngày làm việc.
Để tránh điều này, chúng ta sử dụng các tấm phản xạ được phủ lớp vàng. Nghe có vẻ phức tạp, nhưng thực chất đó chỉ là cách để tăng hiệu suất sử dụng nhiệt lượng. Chúng ta muốn nhiệt lượng được truyền trực tiếp vào wafer, chứ không bị lãng phí.
Vàng và nhiệt lượng
Hầu hết mọi người nghĩ rằng nên sử dụng nhôm làm vật liệu phản xạ, nhưng thực tế nhôm lại hấp thụ một lượng lớn năng lượng hồng ngoại. Vàng thì khác; nó có khả năng phản xạ lại bức xạ hồng ngoại tốt hơn rất nhiều.
Mục đích của việc sử dụng vàng không phải là để làm cho thiết bị trở nên đắt tiền, mà là để đảm bảo rằng nhiệt lượng được truyền đến đúng vị trí cần thiết. Mỗi watt năng lượng được sử dụng đều mang lại hiệu quả thực sự.
Tìm được điểm cân bằng lý tưởng
Có lẽ bạn sẽ tự hỏi: “Tại sao không tăng công suất lên thôi?” Đúng là cách này sẽ giúp làm nóng wafer nhanh hơn, nhưng điều đó sẽ gây áp lực lớn lên bộ nguồn điện. Hơn nữa, nếu áp dụng quá nhiều nhiệt lượng vào một không gian nhỏ, wafer sẽ bị nóng quá mức, điều này sẽ ảnh hưởng đến chất lượng wafer.
Chúng ta dành nhiều thời gian để điều chỉnh độ dày của lớp phủ vàng trên bề mặt tấm phản xạ. Mục tiêu là đảm bảo rằng nhiệt lượng được phân bổ đều trên toàn bộ bề mặt wafer. Không có gì phải lo lắng cả.
Một vài lưu ý về việc bảo trì
Điều tốt là vàng có tính ổn định về mặt hóa học. Trong môi trường phòng sạch, đó là một lợi thế lớn, vì chúng ta không cần lo lắng về việc vàng bị phân hủy.
Nhưng có một điểm cần lưu ý: vàng khá mềm. Nếu nhân viên bảo trì sử dụng các vật liệu mài mòn để làm sạch thiết bị, lớp phủ vàng sẽ bị bong tróc. Khi lớp phủ vàng bị mất đi, hiệu suất gia nhiệt sẽ giảm sút. Những bộ gia nhiệt này được thiết kế để hoạt động với độ chính xác cao, chứ không phải để chịu sự tác động mạnh từ các vật liệu mài mòn. Hãy sử dụng các chất tẩy rửa được phép để giữ cho thiết bị luôn sạch sẽ, và nó sẽ tiếp tục hoạt động tốt như mong đợi.