Trên sàn lithography, bạn nhanh chóng nhận ra rằng một lần nướng mềm lệch nửa độ sẽ làm thay đổi ngân sách CD, và một lần nướng cứng không đồng nhất trên bề mặt wafer sẽ dẫn đến hiện tượng scumming và footing. Khi dây chuyền đang đuổi theo từng giây cho mỗi lô hàng, việc chờ đợi để thay đèn không phải là một lựa chọn.
Những gì quan trọng, về mặt kỹ thuật
Chúng tôi đã xây dựng đèn sưởi wafer nhanh chóng xung quanh một bộ phát NIR sóng ngắn trong một vỏ thạch anh, vì vậy nhiệt sẽ tác động trực tiếp lên wafer và phản ứng nhanh chóng. Trong toàn bộ khoảng xử lý, độ đồng nhất trên wafer giữ trong khoảng ±0.1°C, và độ lặp lại nhiệt độ nướng photoresist giữ ổn định qua từng lô hàng. Cụm lắp ráp được đánh giá cho phòng sạch Class 1–100, và các vật liệu cùng với các khớp nối đã được chọn để giữ việc phát sinh hạt ở mức không, nhằm tránh làm ô nhiễm đường đi hoặc máy phủ. Đầu ra được hiệu chuẩn cho độ bức xạ đồng nhất, điều này giữ ngân sách nhiệt trong tầm kiểm soát ngay cả sau khi thay đèn.
Tại sao nó hoạt động tốt trong quy trình photoresist thực tế
Bước nướng xác định hồ sơ loại bỏ dung môi và thiết lập hồ sơ resist mà công cụ phơi sáng phải in. Độ đồng nhất chặt chẽ bảo vệ kiểm soát độ rộng đường; nhiệt độ lặp lại bảo vệ năng suất. Với đèn này, bạn có thể đạt tốc độ tăng nhanh đến điểm cài đặt, thời gian nướng ngắn hơn mà không bị vượt mức, và giảm thiểu từ độ thiên lệch cạnh đến trung tâm. Tính khả dụng nhanh chóng cắt giảm thời gian ngừng hoạt động không mong muốn, và thiết kế ít hạt giữ cho bát phủ và bề mặt wafer sạch, vì vậy việc bảo trì phòng ngừa không bị chồng chất. Mức tiêu thụ năng lượng giảm vì nhiệt được tập trung vào wafer, không bị lãng phí để làm nóng buồng.
Những chi tiết giúp nó hoạt động
Việc lắp đặt phụ thuộc vào việc phù hợp với giao diện công cụ—điện áp, đầu nối và điểm lắp—vì vậy hãy đảm bảo bạn đang đặt hàng biến thể đèn chính xác cho mẫu đường đi của mình. Đèn hoạt động tốt nhất khi đường đi của phản xạ sạch và được căn chỉnh; ngay cả sự nhiễm bẩn nhỏ cũng sẽ di chuyển vùng nóng. Lập kế hoạch thay thế theo lịch bảo trì phòng ngừa của bạn, không phải theo tình huống khẩn cấp. Đó là cách bạn giữ được kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ nhất và kéo dài tuổi thọ đèn.