На виробничій лінії процес випалу матеріалу – це не просто певні температурні параметри; це також критерії допусків. Навіть незначна зміна температури на 1°C може вплинути на критичні розміри продукту, а місця з надмірно високою температурою можуть призвести до зниження якості продукції. Саме тому ми створили модулі інфрачервоного опалення з розділеною системою керування, щоб усунути необхідність припущень щодо термічного профілю.
Що є важливим з технічної точки зору Ми використовуємо емітери короткохвильового інфрачервоного світла з швидкими пристроями керування, щоб тепло потрапляло саме туди, де потрібно, і саме у потрібний час. Модуль складається з окремо керованих зон, що дозволяє контролювати температуру на рівні всього пластини, а не в середньому по всій поверхні. Насправді це забезпечує однорідність температури на рівні ±0.1°C, а профілі випалу фоторезисту – на рівні ±0.5°C за кожен цикл. Використання матеріалів без кварцу та з низьким рівнем випаровування запобігає утворенню частинок на поверхні пластини, що є необхідним для роботи в чистих приміщеннях класу 1–100.
Ось чому цей модуль підходить для використання на лініях літографії. Ви не можете дозволити собі непланові перерви в роботі. Цей модуль працює 7×24 години без жодних зупинок, а його термічна система розрахована на тривалу експлуатацію – термін служби перевищує 10 000 годин. Це простий, модульний пристрій, який керується на рівні окремих зон.
Переваги очевидні: швидке досягнення заданої температури, висока точність в межах однієї партії, менше відходів через нерівномірний процес випалу. Також зменшується споживання енергії – розділене керування дозволяє не нагрівати всю платформу, коли потрібно скоригувати температуру лише в кількох точках.
Є кілька аспектів, які потрібно врахувати під час встановлення. Для роботи модуля потрібна окрема лінія живлення та чистий, прохолодний потік повітря для підтримки стабільної температури емітерів. Модуль може бути інтегрований з існуючими системами випалу, але максимальна ефективність досягається при використанні стратегії керування, яка враховує ефекти на краях пластини.
Є один обмежуючий фактор: кількість зон є фіксованою для кожної партії. Тож необхідно заздалегідь визначити кількість зон відповідно до розмірів пластини та потреб у контролі країв.