На лінії 300 мм печа здається стабільною, але профіль фотополімеру все одно змінюється після процедури м’якого випалювання. Це призводить до змін ширини ліній під час процедури етчингу. Усе це пов’язано з нерівномірним тепловим розподілом на пластині.
Часто причиною є лампа сушарки – її елементи з часом втрачають свої властивості, що призводить до зміни потужності випромінювання. Контролер не може компенсувати ці зміни.
Що насправді має значення Лампа сушарки DNS використовує короткочастотні інфрачервоні випромінювачі, розташовані в кварцовій конструкції. Це дозволяє досягти швидкого та ефективного нагрівання, при цьому рівномірність температури на поверхні пластини становить ±0,1°C.
Потужність лампи залишається стабільною протягом тисяч процедур випалювання, що дозволяє точно дотримуватися параметрів процесу. Лампа призначена для чистих приміщень класу 1–100; весь пристрій розроблений так, щоб уникнути утворення частинок. Поверхні та елементи пристрою обрані так, щоб вони не виділяли частинок.
Потужність лампи залишається стабільною протягом 5 000 годин і більше, з відхиленням менше 5%. Це зменшує кількість необхідних корекцій та заміни запасних частин.
Чому це важливо в літографії Процедури м’якого та жорсткого випалювання впливають на вміст розчинника в фотополімері, його адгезію та контроль параметрів CD. Якщо тепловий цикл повторюється з кожною партією продукції, це дозволяє зменшити кількість бракованих виробів, спричинених нерівномірністю під час випалювання.
Краща рівномірність означає менше необхідності переробки продукції після процедури етчингу, вищий рівень виробництва та можливість здійснення змін без порушення параметрів процесу.
Швидка реакція лампи також дозволяє зменшити кількість енергії, яка витрачається на кожне випалювання. Довгий термін служби випромінювачів також допомагає уникнути непланових перерв у роботі.
Що потрібно зробити з самого початку Установка лампи полягає у її підборі відповідно до розмірів камери сушарки та оптичного шляху. Спочатку потрібно визначити тип з’єднувача, напругу та спосіб охолодження.
Лампа повинна функціонувати в заданих умовах навколишнього середовища. Якщо ці умови порушуються, термін служби лампи значно скорочується.
Також необхідно дотримуватися графіка технічного обслуговування для підтримки рівномірності та чистоти відбивачів. Інакше не буде можливості досягти бажаної рівномірності.