Üretim alanında, “yumuşak pişirme” ve “sert pişirme” işlemleri sadece sıcaklık ayarları değildir; aynı zamanda tolerans ayarlarıdır. 1°C’lik bir sapma bile kritik boyutlar üzerinde olumsuz etkilere neden olabilir. Bu yüzden termal profili daha doğru şekilde kontrol edebilmek için bölgesel kızılötesi ısıtma modülleri geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar Hızlı tepki veren sürücülerle donatılmış kısa dalgalı kızılötesi ısıtıcılar kullanıyoruz; böylece ısı, istediğiniz yerde ve istediğiniz zaman iletilir. Modül, bağımsız olarak kontrol edilebilen bölgelere ayrılmıştır. Böylece waferin tüm alanındaki sıcaklığı ayarlayabilirsiniz. Pratikte bu sayede wafer düzeyinde ±0,1°C’lik bir uyumluluk sağlanır ve foto dirençlerin pişirilmesi sırasında da ±0,5°C’lik bir doğruluk elde edilir. Kuvars içermeyen yapı ve düşük gaz salınımı sağlayan malzemeler sayesinde wafer üzerinde parçacık oluşumu engellenir. Bu da Class 1–100 temiz oda koşulları için gereklidir.
Neden litografi hatlarında işe yarar? Planlanmamış duruşlar affedilemez. Bu bölgesel kızılötesi modül, 7/24 çalışır ve hiçbir planlanmamış duruş yaşanmaz. Ayrıca termal sistem uzun ömürlüdür; kullanım ömrü 10.000 saatin üzerindedir. Basit, modüler ve bölge bazında kontrol edilebilir.
Faydaları nedir? Daha hızlı ısıtma süresi, parti içi tekrarlanabilirliğin artması ve pişirme işleminin düzensiz olmasından kaynaklanan atık waferlerin azalması gibi faydalar vardır. Enerji tüketimi de azalır; çünkü sadece birkaç bölgenin ayarlanması gerektiğinde tüm alan ısıtılmaz.
Dikkate alınması gerekenler: Kurulum için özel bir güç devresi ve ısıtıcıların sıcaklığını sabit tutmak için temiz ve serin hava akışı gereklidir. Modül mevcut pişirme sistemleriyle sorunsuz bir şekilde entegre olur; ancak kenar etkilerini dengelemek için bölge bazlı kompanzasyon stratejileri kullanıldığında daha iyi sonuçlar elde edilir.
Bir kısıtlama var: Her çerçeve için bölge sayısı sabittir. Bu yüzden wafer boyutlarınıza ve kenar kontrol ihtiyaçlarınıza göre bölgeleri önceden planlamanız gerekir.