ในโรงงานผลิตชิป การอบด้วยความร้อนแบบอ่อนและแบบแรงนั้นไม่ใช่เพียงแค่การกำหนดอุณหภูมิเท่านั้น แต่ยังเป็นการกำหนดขอบเขตความคลาดเคลื่อนของอุณหภูมิด้วย การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 1 องศาเซลเซียสก็สามารถส่งผลกระทบต่อคุณภาพของชิปได้ ดังนั้นเราจึงออกแบบโมดูลการให้ความร้อนแบบอินฟราเรดที่มีการควบคุมแยกกันตามแต่ละโซน เพื่อให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราใช้เครื่องปล่อยคลื่นอินฟราเรดแบบคลื่นสั้น พร้อมด้วยตัวควบคุมที่มีความสามารถในการตอบสนองได้รวดเร็ว ทำให้ความร้อนสามารถไปถึงจุดที่ต้องการได้ในเวลาที่ต้องการ โมดูลนี้ถูกแบ่งออกเป็นโซนที่สามารถควบคุมแยกกันได้ ซึ่งทำให้สามารถปรับอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำในแต่ละโซน ในทางปฏิบัติ สิ่งนี้ช่วยให้มีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับ ±0.1 องศาเซลเซียส และค่าอุณหภูมิในการอบก็อยู่ในช่วง ±0.5 องศาเซลเซียสในแต่ละรอบการอบ นอกจากนี้ การไม่ใช้ควอตซ์และการใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย ยังช่วยลดการเกิดฝุ่นบนชิปได้อีกด้วย ซึ่งเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการผลิตในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100
เหตุผลที่โมดูลนี้เหมาะสมสำหรับการใช้งานในกระบวนการผลิตชิป คุณไม่สามารถปล่อยให้เกิดการหยุดทำงานโดยไม่ได้计划ได้ โมดูลการให้ความร้อนแบบอินฟราเรดนี้สามารถทำงานได้ 24 ชั่วโมงต่อวัน โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่ได้计划 และระบบควบคุมอุณหภูมินี้มีอายุการใช้งานมากกว่า 10,000 ชั่วโมง นอกจากนี้ โมดูลนี้ยังมีโครงสร้างที่เรียบง่าย สามารถควบคุมได้ในแต่ละโซน
ข้อดีของโมดูลนี้คืออะไร? คุณจะได้รับอุณหภูมิที่เหมาะสมได้เร็วขึ้น มีความสม่ำเสมอในแต่ละชุดผลิตมากขึ้น และลดปริมาณชิปที่เสียหายจากการอบที่ไม่สม่ำเสมอได้ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะการควบคุมแบบโซนช่วยให้ไม่ต้องใช้ความร้อนกับทั้งบริเวณเมื่อมีเพียงบางจุดเท่านั้นที่ต้องปรับอุณหภูมิ
สิ่งที่ต้องคำนึงถึง การติดตั้งโมดูลนี้ต้องมีวงจรไฟฟ้าที่เหมาะสม และมีกระแสอากาศที่สะอาดและเย็น เพื่อให้อุณหภูมิของเครื่องปล่อยความร้อนคงที่ โมดูลนี้สามารถทำงานร่วมกับระบบการอบเดิมได้ แต่จะได้ประโยชน์สูงสุดเมื่อใช้ร่วมกับกลยุทธ์การควบคุมที่ใช้การปรับอุณหภูมิในแต่ละโซน
ข้อจำกัดหนึ่งคือ จำนวนโซนที่สามารถใช้ได้ต่อหนึ่งเฟรมนั้นมีจำกัด ดังนั้นควรกำหนดโซนต่างๆ ล่วงหน้าให้เหมาะสมกับขนาดของชิปและความต้องการในการควบคุมขอบของชิป