บนเส้นทางการผลิตที่มีความยาว 300 มม. หน่วยการผลิตแบบลิโธกราฟีถือเป็นจุดสำคัญที่สุด หากอุณหภูมิของเครื่องทำความร้อนเปลี่ยนแปลงไป อุณหภูมิในขั้นตอนการอบก็จะเปลี่ยนแปลงตามไปด้วย ซึ่งจะส่งผลให้ประสิทธิภาพการผลิตลดลงก่อนที่เครื่องสแกนจะตรวจพบข้อบกพร่องใดๆ เราได้ออกแบบโมดูลเครื่องทำความร้อนสำหรับห้องปลอดฝุ่นของเราขึ้นมา เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในบริเวณที่สำคัญที่สุด นั่นก็คือบริเวณวงจรร้อน
สิ่งที่สำคัญจริงๆ คืออะไร? เราพยายามรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิให้อยู่ที่ ±0.1°C ตลอดกระบวนการไหลของอากาศ เพื่อให้แผ่นวงจรร้อนได้รับสภาพอากาศที่สม่ำเสมอในทุกครั้งที่มีการอบ โมดูลนี้ทำงานภายในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 โดยไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ เลย ซึ่งได้รับการยืนยันจากการตรวจสอบอนุภาคในระหว่างการทำงาน นอกจากนี้ เครื่องทำความร้อนนี้ยังใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย และมีระบบการทำความร้อนที่ปิดสนิท ดังนั้นจึงไม่มีโอกาสที่จะเกิดการปนเปื้อนระหว่างขั้นตอนการอบ กำลังไฟฟ้าที่ใช้ก็ถูกออกแบบมาให้สามารถทำงานได้ 24/7 โดยมีอัตราการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่ควบคุมได้ และสามารถเชื่อมต่อเข้ากับระบบควบคุมของ AHU ได้ผ่านอินเทอร์เฟซอุตสาหกรรมมาตรฐาน
สิ่งสำคัญคือ ขั้นตอนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ไม่ใช่เพียงขั้นตอนง่ายๆ เท่านั้น แต่เป็นขั้นตอนที่มีความสำคัญมาก แม้ว่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงเพียงเล็กน้อย ก็สามารถส่งผลให้เกิดความผิดปกติในขนาดของวงจรร้อนได้ เราจึงพยายามรักษาอุณหภูมิให้สม่ำเสมอในบริเวณวงจรร้อน เพื่อให้ผลลัพธ์การอบมีความสม่ำเสมอในแต่ละครั้ง ซึ่งจะช่วยให้สามารถควบคุมขนาดของวงจรร้อนได้ดีขึ้น ลดการทำงานซ้ำ และมีการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำขึ้น นอกจากนี้ ประสิทธิภาพในการทำงานก็จะดีขึ้นด้วย เพราะไม่มีการสูญเสียพลังงานไปกับการปรับอุณหภูมิซ้ำๆ
ในการติดตั้ง จำเป็นต้องให้ความสำคัญกับทิศทางการไหลของอากาศและค่าความดันสถิตของ AHU หากท่ออากาศไม่สอดคล้องกัน ก็จะเกิดการเกิดกระแสลมเล็กๆ ซึ่งจะส่งผลให้อุณหภูมิไม่สม่ำเสมอ นอกจากนี้ โมดูลนี้ยังต้องการแหล่งพลังงานที่สะอาดด้วย เพราะความผันผวนของแรงดันไฟฟ้าจะส่งผลให้อุณหภูมิเปลี่ยนแปลงในระยะสั้น ดังนั้นจึงจำเป็นต้องวางแผนช่วงเวลาการทดสอบให้สอดคล้องกับขั้นตอนการอบของเครื่องลิโธกราฟี และตรวจสอบค่าอุณหภูมิให้ตรงกับค่าที่กำหนดไว้ด้วย