На линии производства с длиной линий 300 мм печь кажется стабильной, но профиль свойств фотополимера все равно меняется после процедуры мягкой обработки. Это приводит к изменениям ширины линий в процессе эчинга. Причиной этого является неравномерное распределение тепла по всей поверхности пластины.
Чаще всего причиной является лампа сушильной установки – ее элементы со временем изнашиваются, мощность лампы меняется, а также возникают «горячие точки», которые контроллер не может компенсировать.
Что действительно важно на практике
Лампа сушильной установки DNS использует инфракрасные излучатели коротких волн, расположенные в кварцевом корпусе. Это обеспечивает быстрое и эффективное нагревание, при этом однородность температуры на поверхности пластины составляет ±0,1°C.
Мощность лампы остается стабильной в течение тысяч процедур сушки, что позволяет точно соблюдать параметры процесса. Устройство предназначено для использования в чистых помещениях класса 1–100; вся конструкция разработана таким образом, чтобы избежать образования частиц. Поверхности и компоненты выбраны таким образом, чтобы минимизировать выбросы частиц.
Мощность лампы остается стабильной в течение более 5 000 часов, с отклонением менее 5%. Это снижает количество необходимости перекалибровок и замены расходных материалов.
Почему это важно в процессе литографии
Процедуры мягкой и жесткой обработки определяют содержание растворителей в фотополимере, его адгезию и качество обработки. Если температурный цикл повторяется с каждой партией продукции, это снижает количество браков, вызванных неравномерностью температуры в процессе обработки.
Более высокая однородность температуры означает меньше необходимости доработок после эчинга, более высокую производительность и возможность выполнения всех операций в заданных временных рамках.
Быстрая реакция лампы на изменения температуры также снижает потребление энергии за одну процедуру сушки. Длительный срок службы излучателей предотвращает неоправданные простои оборудования.
Что необходимо сделать с самого начала
Установка лампы заключается в ее подборе под конкретные размеры камеры сушильной установки и оптический путь. Сначала необходимо определить тип разъема, напряжение и способ охлаждения.
Лампа должна работать в заданных условиях окружающей среды. Если эти условия нарушаются, срок службы лампы сокращается.
Также необходимо соблюдать график технического обслуживания для поддержания чистоты отражателей. В противном случае не будет достигнута необходимая однородность температуры.