Pare de esperar que o forno aqueça: por que o IR sem ozônio é a melhor solução
Se você trabalha com processamento de semicondutores, sabe bem o quanto é frustrante ter que esperar. Especificamente, esperar que a câmara se aqueça.
A maioria das soluções existentes utiliza ar forçado, ou seja, simplesmente sopra ar quente pelo ambiente. O problema é que é preciso aquecer cada centímetro cúbico do ar antes que a peça em processo comece a se aquecer. É lento e tedioso. Além disso, isso prejudica a produtividade.
Por outro lado, o infravermelho (IR) não precisa lidar com o ar. Ele envia energia diretamente para o substrato, usando radiação eletromagnética. É rápido. Muito rápido. E isso muda completamente o fluxo de trabalho.
Levar o calor até onde realmente importa
A circulação de ar sempre parece lenta demais. Há pontos onde o calor não chega, o que gera perda de tempo. Usamos lâmpadas IR sem ozônio para evitar esse problema. Ao escolher comprimentos de onda que o material absorve facilmente, o aquecimento acontece quase instantaneamente. Não é preciso esperar que o sistema de ventilação estabilize o ambiente. Basta mover as peças pela linha de produção.
O problema do ozônio (e como resolvemos isso)
O problema com o IR de onda curta é que ele pode criar ozônio. Isso acontece devido à radiação ultravioleta de baixa frequência (VUV). Em uma sala limpa, o ozônio é um grande problema: é um contaminante que danifica os selos e as superfícies dos equipamentos. Ninguém quer isso.
Nossas lâmpadas utilizam revestimentos de quartzo especiais e filtros para bloquear esses comprimentos de onda VUV. Assim, você obtém todo o calor necessário, sem nenhum tipo de poluente químico. Seu processo permanece limpo, e seus equipamentos duram mais tempo.
As trade-offs necessárias
Não posso dizer que o IR é perfeito para todas as situações. Ele é direcional. Diferentemente de um forno convencional, que distribui o calor ao redor da peça, o IR atinge apenas aquilo que pode “ver”. Se sua peça tiver formas estranhas ou reentrâncias, podem surgir pontos frios.
É por isso que dedicamos muito tempo aos arranjos das lâmpadas e aos ângulos dos refletores. É preciso garantir que tudo seja coberto adequadamente. Além disso, preste atenção no sistema de resfriamento. O IR concentra uma enorme quantidade de energia em um espaço pequeno. Se o sistema de resfriamento não for suficiente, seus equipamentos podem ser danificados. Certifique-se de que seus equipamentos estejam preparados para suportar essa carga.