Na fábrica, o processo de secagem nos laboratórios em chip dá errado quando a etapa de secagem não é realizada corretamente. Percebe-se a formação de grânulos nas bordas dos canais, além de uma redução na produtividade com wafers de 300 mm. O aquecedor precisa seguir as especificações definidas, e não a temperatura ambiente.
O que é importante, tecnicamente Desenvolvemos o aquecedor para laboratórios em chip utilizando emissores de infravermelho de onda curta, localizados em um módulo de quartzo-cerâmica. Isso garante uma resposta rápida e baixa massa térmica – exatamente o que é necessário. A uniformidade ao nível dos wafers fica entre ±0,1°C em toda a área de secagem, garantindo que os parâmetros de secagem se mantenham dentro das especificações.
O equipamento foi projetado para ser usado em salas limpas de classe 1–100: possui estruturas seladas, materiais de alta qualidade e não gera partículas durante o funcionamento contínuo. A repetibilidade é essencial – a temperatura medida permanece estável de ciclo em ciclo.
Por que isso se adequa ao nosso trabalho Esse aquecedor resolve os principais problemas na fabricação e embalagem de wafers: secagem consistente após a limpeza, secagem estável durante a litografia e controle preciso da temperatura. A alta uniformidade reduz defeitos no fotoresist e efeitos nas bordas dos wafers, o que acelera os ciclos de qualificação e reduz os resíduos.
O consumo de energia diminui, pois os emissores ajustam-se rapidamente e mantêm a temperatura estável, sem excessos. Sua confiabilidade já foi comprovada em operações contínuas, sem interrupções.
O que você precisa saber antes de usar A instalação requer que a interface do equipamento seja compatível com sua plataforma, além de verificar as especificações de tensão e conectores. O equipamento se encaixa nas estações de processamento padrão, mas ainda é necessário deixar espaço ao redor da área dos emissores para permitir a circulação de ar e o controle de partículas.
É necessário realizar calibrações periódicas para manter a uniformidade de ±0,1°C. Isso não é algo que pode ser ignorado – faz parte das regras de operação do equipamento.