Mengapa kita beralih kepada kaedah pemanasan menggunakan inframerah untuk pemprosesan wafer
Sekarang ini, semua orang membicarakan tentang konsep kelestarian alam sekitar. Dalam dunia semikonduktor, ini bermakna kita perlu memikirkan semula cara untuk memanaskan bahan-bahan yang digunakan dalam proses pengeluaran. Kaedah lama, iaitu menggunakan ketuhar berkuasa tinggi, sebenarnya sama saja seperti memanaskan seluruh rumah hanya untuk memanaskan satu keping pizza sahaja. Ini merupakan pembaziran tenaga.
Itulah sebabnya kita beralih kepada kaedah pemanasan menggunakan inframerah. Daripada memanaskan keseluruhan bilik, kita hanya perlu mengarahkan haba tepat ke tempat yang diperlukan, iaitu wafer itu sendiri.
Memastikan suhu yang tepat
Inilah cara ia berfungsi. Kita menggunakan lampu kuarsa berkuasa tinggi yang mengeluarkan sinaran gelombang pendek terus ke permukaan wafer. Proses ini sangat cepat; suhu dapat dinaikkan dalam masa beberapa saat sahaja. Ini bermakna alat tersebut tidak perlu menggunakan banyak tenaga untuk memanaskan wafer.
Namun, kelajuan juga boleh menjadi masalah. Jika kita tidak memantau suhu setiap milisaat, suhu wafer mungkin melebihi had yang ditetapkan. Dalam industri ini, hal ini akan merosakkan keseluruhan batch wafer yang dihasilkan.
Untuk mengelakkan hal ini, kita menggunakan alat pengukur suhu tanpa sentuhan. Alat ini berfungsi seperti “mata” yang sentiasa memantau permukaan wafer. Jika alat pengukur ini gagal berfungsi dengan baik, maka kita akan menghadapi masalah.
Cabaran berkaitan perkakasan
Kita tidak boleh sekadar meletakkan lampu tersebut ke dalam mesin dan anggap saja tugas selesai. Jarak antara lampu dan wafer sangat penting. Jika jaraknya tidak tepat, pengagihan haba akan menjadi tidak sekata, dan ini akan merosakkan kualiti wafer. Kita juga menggunakan lapisan khas pada lampu tersebut agar spektrum haba yang dihasilkan sesuai dengan keperluan.
Selain itu, masih ada masalah berkaitan haba. Lampu-lampu ini menjadi sangat panas di bahagian hujungnya. Jika sistem penyejukan tidak berfungsi dengan baik, atau aliran air terganggu seketika, lampu tersebut akan rosak. Ia merupakan cabaran yang perlu diatasi agar perkakasan tidak rosak akibat haba yang berlebihan.
mencapai matlamat “Lestari”
Apabila orang bercakap tentang “kilang hijau”, ia sering kali kedengaran seperti slogan pemasaran semata-mata. Namun, sebenarnya logiknya sangat mudah. Ketuhar tradisional memerlukan banyak tenaga kerana ia perlu kekal panas untuk jangka masa yang lama, walaupun ketika ia tidak digunakan. Sistem inframerah pula berbeza; ia boleh dihidupkan dan dimatikan dengan cepat.
Waktu yang digunakan untuk memanaskan udara di sekeliling wafer dapat dikurangkan, sehingga penggunaan tenaga juga berkurangan. Ini merupakan cara yang efektif untuk mengurangkan kos penggunaan tenaga.