Di bilik pengeluaran yang canggih ini, proses pengeringan menggunakan teknologi “lab-on-a-chip” boleh gagal jika langkah pengeringan tidak dilakukan dengan betul. Anda akan melihat adanya titik-titik kotoran di saluran-saluran tersebut, dan kadar keberhasilan proses pengeringan pada wafer berukuran 300 mm juga menurun. Pemanas perlu berfungsi mengikut arahan yang ditetapkan, bukannya mengikut suhu bilik semata-mata.
Apa yang penting dari segi teknikalnya:
Kami membina pemanas untuk proses pengeringan menggunakan teknologi inframerah gelombang pendek dalam modul kuarsa-seramik. Ia mempunyai masa tindak balas yang cepat dan jisim haba yang rendah—ini merupakan ciri-ciri yang sangat diperlukan. Keseragaman suhu pada permukaan wafer kekal pada tahap ±0.1°C sepanjang kawasan pengeringan, sehingga profil pengeringan yang digunakan untuk fotoresist tetap berada dalam lingkungan yang ditetapkan.
Pemanas ini direka khusus untuk ruang kerja bersih kelas 1–100: ia memiliki kotak pelindung yang tertutup rapat, bahan berkualiti tinggi, dan tidak menghasilkan zarah-zarah tertentu semasa beroperasi secara berterusan. Repeatabilitinya sangat baik—suhu yang diukur sentiasa berada dalam julat yang ditetapkan, dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Mengapa ia sesuai untuk proses pengeluaran kami:
Pemanas ini dapat menyelesaikan masalah-masalah yang timbul semasa proses pembuatan dan pembungkusan wafer: pengeringan yang konsisten setelah proses pembersihan, proses pengeringan yang stabil untuk litografi, serta keseragaman suhu yang tinggi antara setiap batch wafer. Keseragaman suhu yang tinggi ini dapat mengurangkan kecacatan pada fotoresist dan kesan-kesan negatif lain, sekali gus memendekkan masa yang diperlukan untuk proses pengujian dan mengurangkan bahan buangan.
Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana pemanas ini dapat mencapai suhu yang diinginkan dengan cepat dan mengekalkannya tanpa melebihi had yang ditetapkan. Kebolehpercayaannya telah terbukti melalui operasi 24/7, tanpa sebarang gangguan yang tidak dirancang.
Apa yang perlu anda ketahui terlebih dahulu:
Proses pemasangan memerlukan penyelarasan antara antaramuka alat tersebut dengan spesifikasi voltan dan soket yang diperlukan. Saiz pemanas ini sesuai untuk stesen pemprosesan standard, namun masih diperlukan ruang cukup di sekitar kawasan pemanas agar aliran udara dan kawalan zarah dapat berjalan dengan baik.
Anda perlu merancang pemeriksaan kalibrasi secara berkala untuk memastikan keseragaman suhu pada tahap ±0.1°C. Ini bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan—ia merupakan sebahagian daripada prosedur operasi yang perlu dipatuhi.