DNS(스크린) 웨이퍼 건조기용 램프

300mm 라인에서는 오븐의 성능이 안정적으로 보이지만, 소프트 베이크 이후에도 포토레지스트의 농도가 계속 변동합니다. 그 결과 에칭 과정에서 선의 굵기에 변동이 생기며, 이는 결국 웨이퍼 전체의 열 분포 불균형으로 이어집니다. 대부분의 경우, 문제의 원인은 건조기...