अपने वैक्यूम चेम्बरों को हमेशा साफ रखना
जब आप क्लास 100 के क्लीनरूम में काम कर रहे होते हैं, तो सबसे छोटी गलती भी बहुत बड़ी समस्या पैदा कर सकती है। गर्मी देने की प्रक्रिया के दौरान थोड़ी सी धूल या रासायनिक गैस भी बाहर निकल सकती है, और इससे आपका वेफर नष्ट हो सकता है।
अधिकांश सामान्य हीटिंग तत्व ऐसे कामों के लिए उपयुक्त नहीं होते। ऐसे तत्वों से अशुद्धियाँ बाहर निकलती हैं, जिससे आपके वेफर पर दाग लग जाते हैं। इसीलिए हम अपने वैक्यूम इन्फ्रारेड लैंपों में उच्च-शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… क्योंकि यह हमेशा साफ ही रहता है।
गैस निकलने की समस्या
हम फ्यूज्ड सिलिका क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… क्योंकि यह गर्म होने पर भी नष्ट नहीं होता। सामान्य काँच के विपरीत, यह टूटता नहीं, और न ही इससे कोई वोलेटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंड बाहर निकलते हैं।
वैक्यूम में, एक सूक्ष्म कण भी “धूल” नहीं होता… बल्कि यह एक दोष ही होता है। क्वार्ट्ज में मौजूद अशुद्धियों को हटाकर हम यह सुनिश्चित करते हैं कि आपकी प्रक्रिया में कार्बन या धातु न घुल जाए।
ऊर्जा एवं गर्मी
चूँकि इन्फ्रारेड विकिरण को आगे बढ़ने हेतु किसी माध्यम की आवश्यकता नहीं होती, इसलिए यह वैक्यूम में उपयोग के लिए बेहतरीन है। हमने ऐसे लैंपों को उच्च ऊर्जा घनत्व हेतु डिज़ाइन किया है… ताकि गर्मी जल्दी ही पहुँच सके। ऊर्जा सीधे ही कार्यवस्तु तक पहुँचती है… जिससे चेम्बर की दीवारें अतिरिक्त गर्मी को नहीं सोख पातीं।
लेकिन ध्यान रखें: उच्च-वाटेज वाले लैंप तो समय बचाते हैं… लेकिन ये वैक्यूम सीलों पर दबाव डालते हैं। इसलिए अपने गैस्केटों को ऐसा ही बनाएं कि वे स्थानीय तापीय विस्तार को सह सकें… ताकि सील टूट न जाए।
लैंपों को लगाना
हम कनेक्टरों को मानकीकृत रखते हैं… इससे आपको पूरे रैक को फिर से वायर करने की आवश्यकता नहीं पड़ती… जिससे बहुत समय बचता है। हम क्वार्ट्ज को अच्छी तरह से पॉलिश भी करते हैं… ताकि “हॉट स्पॉट” न बनें… क्योंकि ऐसी स्थिति में लैंप जल्दी ही नष्ट हो जाता है।
यदि आप उच्च-वैक्यूम सिस्टम चला रहे हैं, तो अपने कूलिंग सर्किट की जाँच जरूर करें… क्योंकि ऐसे लैंप बहुत अधिक ऊर्जा उत्पन्न करते हैं… जिससे वायर गल सकते हैं। इसलिए उच्च-तापमान वाले वायर ही उपयोग में लाएं… ताकि सर्किट में शॉर्ट-सर्किट न हो।