Warum Goldreflektoren die ideale Lösung für Ihre Infrarotsysteme sind
In den Halbleiterfabriken kommt es letztendlich darauf an, wie schnell und präzise man die Wärme weiterleiten kann. Die meisten Leute verlassen sich dabei auf Konvektionsöfen – doch das ist ineffizient. Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Kurzwellen-Infrarotlampen samt goldveredelten Reflektoren.
Das Besondere am Gold ist folgendes: Wenn man Standardaluminium verwendet, absorbiert dieses Metall zu viel Energie – das ist also ineffizient. Gold hingegen reflektiert die Infrarotstrahlung mit hoher Effizienz zurück. Dadurch wird die Wärme direkt auf die Wafer übertragen, anstatt dass sie im Gehäuse der Maschine gespeichert wird.
Das bedeutet einen erheblichen Einfluss auf den Energieverbrauch pro Wafer.
Der wahre Vorteil liegt jedoch in der thermischen Dichte: Man muss nicht mehr mit langen Vorheizzyklen umgehen, bei denen unnötig Energie verbraucht wird. Diese Lampen treffen gezielt auf die Absorptionsbereiche des Substrats – dadurch wird nur das eigentliche Zielobjekt erwärmt, nicht die Luft darum herum. Der Vorgang erfolgt fast sofort.
Wir wissen auch, dass Platz in Reinräumen extrem begrenzt ist. Deshalb sind diese Geräte besonders kompakt. Sie passen problemlos in Ihre vorhandenen Geräte und funktionieren perfekt mit Ihren PID-Steuerungen zusammen. Die Reaktionszeiten liegen im Millisekundenbereich.
Aber Achtung: Eine solche hohe thermische Dichte belastet die Kühlsysteme stark. Wenn Ihr Kühlwasserkreislauf nicht ausreicht, werden die Lampen viel schneller kaputtgehen, als eigentlich nötig wäre. Überprüfen Sie vor dem Anschließen die Anforderungen Ihres Kühlsystems.
Das Allerbeste ist jedoch, dass dadurch der CO2-Fußabdruck auf optimale Weise reduziert wird. Durch die Eliminierung dieser „unnötigen“ Energieverschwendung werden die Emissionen verringert – ohne dass man etwas an der Chemie des Waferverarbeitungsprozesses ändern muss. Es handelt sich einfach um ein intelligenteres Hardware-Element, das die Arbeit für Sie übernimmt.