Na lince o délce 300 mm je lithografická část opravdu klíčová – bez ní nemůže proces proběhnout správně. Pokud se teplota v ohřívači AHU mění, změní se s ní i profil zahřevu – a už dlouho předtím, než detektor vad něco odhalí, začneme ztrácet výkon. Náš modul na ochlazování a ohřev v továrně je navržen tak, aby udržoval termální pole stabilní právě tam, kde je to důležité – tedy přímo na polovodičové desce.
Co je důležité pod pokličkou
Udržujeme termální jednotnost na úrovni ±0,1 °C v celém proudu vzduchu, aby deska měla stálé podmínky pro zahřev. Modul funguje v prostorách s čistotou třídy 1–100, bez jakékoli generace částic – což potvrzuje monitorování částic přímo na místě. Ohřívač používá materiály s nízkou emisí plynů a uzavřenou termální cestu, takže během zahřevu nevznikají žádné kontaminanty. Výkon modulu je navržen pro nepřetržitou činnost 24/7 s řízenými rychlostmi zvyšování teploty. Modul se integruje do existujících kontrolních systémů AHU prostřednictvím standardních průmyslových rozhraní.
Vizuální zpracování fotorezistentu není jen jednoduchým krokem – jedná se o kritický parametr. I malé teplotní výkyvy se projevují jako změny rozměrů a nerovnoměrnosti na okrajích desky. Udržujeme teplotu v rovině desky konstantní, aby recept na zahřev fungoval stejně v každé série výrobků. Díky tomu dosahujeme lepší kontroly rozměrů, méně oprav a předvídatelného termálního provozu. Efektivita také vzrůstá, protože se přestává plýtvat energií na cykly nadvýkonu a následné korekce.
Při instalaci je nutné věnovat pozornost směru proudění vzduchu a tolerance statického tlaku v AHU. Nesoulad v potrubích způsobuje mikroturbulence, které narušují rovnoměrnost teploty. Modul také potřebuje čistý napájecí signál – výkyvy napětí se projevují jako krátkodobé teplotní výkyvy. Je potřeba pečlivě naplánovat dobu zprovoznění modulu v souvislosti s procesem zahřevu fotorezistentu a ověřit profil podle konkrétního typu fotorezistentu.