৩০০ মিমি লাইনে, লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়াটি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। যদি AHU হিটারটি তার নির্ধারিত অবস্থান থেকে সরে যায়, তাহলে বেকিং প্রক্রিয়াটিও সেই অনুযায়ী বিঘ্নিত হয়। ফলে, ডিফেক্ট স্ক্যানার কোনো সমস্যা চিহ্নিত করার আগেই উৎপাদন কমতে শুরু করে। আমরা আমাদের ফ্যাব এয়ার কন্ডিশনিং হিটার মডিউলটি এমনভাবে ডিজাইন করেছি যাতে ওয়েফারের কাছাকাছি থার্মাল ফিল্ডটি স্থিতিশীল থাকে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা সাপ্লাই এয়ার স্ট্রিমে ±০.১°C থার্মাল ইউনিফর্মিটি বজায় রাখি; যাতে বেকিং প্রক্রিয়াটি নির্দিষ্ট শর্তাবলী অনুযায়ী চলে। এটি ক্লাস ১–১০০ ক্লিনরুমে কাজ করে; এখানে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না। হিটারটিতে কম গ্যাস নির্গমনকারী উপাদান ব্যবহৃত হয়, ফলে সফ্ট/হার্ড বেকিং প্রক্রিয়ায় কোনো ধরনের দূষণ ঘটে না। এটি ২৪/৭ কাজ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; এর আউটপুট নিয়ন্ত্রিত হারে পরিবর্তিত হয়। এটি স্ট্যান্ডার্ড ইন্ডাস্ট্রিয়াল ইন্টারফেসের মাধ্যমে AHU কন্ট্রোল লুপে সংযুক্ত হয়।
ফটোরেসিস্ট বেকিং প্রক্রিয়াটি কতটা গুরুত্বপূর্ণ?
ফটোরেসিস্ট বেকিং কোনো সাধারণ প্রক্রিয়া নয়; এটা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ একটি প্রক্রিয়া। সামান্য তাপমাত্রা পরিবর্তনও গুরুত্বপূর্ণ প্রভাব ফেলে। আমরা ওয়েফারের তাপমাত্রাকে নিয়ন্ত্রণ করি; যাতে প্রতিবার বেকিং প্রক্রিয়াটি একইভাবে চলে। এর ফলে CD নিয়ন্ত্রণ ভালো হয়, পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন কমে যায়, আর থার্মাল বাজেটও নিয়ন্ত্রণে থাকে। দক্ষতাও বাড়ে; কারণ অতিরিক্ত শক্তি ব্যয় হয় না।
ইনস্টলেশনের সময় কী বিষয়গুলো মনে রাখা দরকার?
ইনস্টলেশনের সময় এয়ারফ্লোর দিক ও AHU-এর স্ট্যাটিক প্রেশার বিষয়গুলো মনে রাখা দরকার। অনুপযুক্ত ডাক্টিং সিস্টেম থাকলে মাইক্রো-টার্বুলেন্স সৃষ্টি হয়, যা থার্মাল ইউনিফর্মিটি নষ্ট করে। মডিউলটির জন্য পরিষ্কার বিদ্যুৎ সরবরাহ দরকার; ভোল্টেজ পরিবর্তন থাকলে তাত্ক্ষণিকভাবে তাপমাত্রায় পরিবর্তন ঘটে। লিথোগ্রাফি বেকিং প্রক্রিয়ার সাথে মিলিয়ে মডিউলটির কনফিগারেশন ঠিক করা উচিত।