في قسم التصنيع، يحدث خلل في عملية التجفيف داخل الرقاقات، وذلك بسبب انحراف درجة الحرارة أثناء عملية التجفيف. كما يظهر وجود رواسب على حواف الرقاقات، بالإضافة إلى انخفاض جودة الرقاقات ذات الحجم 300 مم. لذلك، يجب أن يتبع جهاز التسخين المعايير المحددة، وليس درجة حرارة الغرفة.
ما هو مهم من الناحية التقنية؟
لقد صُمم جهاز التسخين المستخدم في عملية التجفيف باستخدام جهات إرسال للأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة، وذلك داخل وحدة من الكوارتز والسيراميك. هذا الجهاز يتميز بسرعة الاستجابة وانخفاض الكتلة الحرارية، وهو بالضبط ما نحتاجه. تظل درجة الحرارة مستقرة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية في منطقة التسخين، مما يضمن استقرار جودة الرقاقات أثناء عمليات التسخين.
تم تصميم هذا الجهاز للاستخدام في غرف نظيفة من الفئة 1–100: فهو يحتوي على هياكل مغلقة، ومواد من النوع HEPA، بالإضافة إلى عدم وجود أي جزيئات في الهواء أثناء التشغيل المستمر. الدقة في الأداء هي الهدف الرئيسي، حيث يظل مستوى درجة الحرارة ثابتًا من دورة إلى أخرى.
لماذا يناسب هذا الجهاز عملنا؟
يساعد هذا الجهاز في حل المشاكل المتعلقة بتصنيع الرقاقات وتغليفها: التجفيف المستمر بعد عملية التنظيف، والتسخين المستقر أثناء عمليات الطباعة الضوئية، بالإضافة إلى استقرار درجة الحرارة في جميع الدفعات. التناسق الدقيق في درجة الحرارة يقلل من عيوب الرقاقات والآثار الناتجة عن اختلاف درجات الحرارة، مما يقلل من وقت الاختبارات والنفايات.
كما يقل استهلاك الطاقة، لأن جهات الإرسال تعمل بسرعة وتحافظ على درجة الحرارة المطلوبة دون أي اختلافات. لقد تم إثبات موثوقية هذا الجهاز في العمل على مدار 24 ساعة، دون أي توقفات غير مخطط لها.
ما يجب أن تعرفه مسبقًا؟
يتطلب التركيب مطابقة واجهة الجهاز مع مواصفات الجهاز الخاص بك، بالإضافة إلى التأكد من مواصفات الجهد والموصلات. يمكن تركيب الجهاز في محطات المعالجة القياسية، لكن يجب توفير مساحة كافية حول منطقة الإرسال لضمان تدفق الهواء والسيطرة على الجزيئات.
يجب إجراء فحوصات دورية لضمان استمرار التناسق في درجة الحرارة عند ±0.1 درجة مئوية. هذا ليس شيئًا يمكن تجاهله، بل هو جزء من إجراءات العملية.