في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، فإن أي انحراف بمقدار نصف درجة خلال عملية تسخين الطبقة الحساسة للضوء ليس مشكلة تافهة. فهذا الانحراف يؤدي إلى انخفاض جودة المنتج في الاختبارات الكهربائية، كما يؤدي إلى ظهور جزيئات غير مرغوب فيها، وهو ما يتطلب إعادة المعالجة. يجب أن يكون التسخين بالأشعة تحت الحمراء فعالًا، بحيث يوفر حرارة مستقرة ومتكررة على كامل سطح الرقاقة، دون أن يتسبب في أي تلوث.
ما الذي يهم في الواقع؟ لقد صممنا نظام التسخين بالأشعة تحت الحمراء باستخدام مصادر إشعاع تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة، مع استخدام وحدات من الكوارتز لضمان استجابة سريعة وتحكم دقيق في درجة الحرارة. على رقاقة بحجم 300 مم، نحافظ على توحيد درجة الحرارة ضمن نطاق ±0.1°مئوية، كما أن التكرار في العملية يظل ضمن نطاق بضعة ميليدرجات. الغرفة المستخدمة في العملية خالية من الغبار، وتتوافق مع المعايير من الفئة 1 إلى الفئة 100، وذلك باستخدام مواد لا تنتج غازات، بالإضافة إلى نظام تدفق هواء يساعد على التخلص من الجزيئات الغير مرغوب فيها. عدم إنتاج أي جزيئات ليس مجرد شعار، بل يعتمد على جودة السطح واختيارات الإغلاق، بالإضافة إلى استراتيجية الطرد التي تمنع تراكم النواتج الثانوية للطبقة الحساسة للضوء.
في عملية معالجة الطبقة الحساسة للضوء، يتم استخدام التسخين الخفيف لإزالة المذيبات وتقليل الضغط على الطبقة، بينما يُستخدم التسخين الشديد لإعداد الطبقة لعملية النقش. عندما يكون التسخين بالأشعة تحت الحمراء سريعًا ومستقرًا، يمكن تقليل وقت العملية دون فقدان السيطرة على الخصائص الخاصة بالطبقة.
التحكم الدقيق في درجة الحرارة يعني تقليل عدد العمليات المطلوبة لإعادة المعالجة، بالإضافة إلى تحسين جودة المنتج، وتقليل استهلاك الطاقة. يعمل النظام على مدار 24/7، مع فترات صيانة منتظمة، مما يقلل من أوقات التوقف غير المخطط لها ويحافظ على استقرار العملية.
التسخين بالأشعة تحت الحمراء عالي الدقة حساس للاختلافات في معدل الإشعاع بين الطبقات والأسطح المختلفة. لذا، يجب ضبط قوة الأضواء وإعدادات العملية لكل سطح على حدة، بالإضافة إلى التأكد من توافقها مع واجهات الطباعة.
بالطبع، يتطلب الأمر وقتًا للتجهيز الأولي. لكن بمجرد تحديد الإعدادات المناسبة، تظل العملية ضمن المعايير المطلوبة، من خلال فحوصات دورية لقوة الأضواء وضبط درجة الحرارة.